Clustersystem aus plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) und reaktivem Ionenätzen (RIE) (IIC-2020-0053)
Der Sichtbarkeitszeitraum dieser Vergabe ist abgelaufen oder noch nicht erreicht.
Der Sichtbarkeitszeitraum dieser Vergabe ist abgelaufen oder noch nicht erreicht.